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結構組成

- 光學系統：由目鏡、物鏡、照明光源等構成。目鏡用于觀察成像，物鏡將被測工件成像放大，照明光源則提供清晰觀察所需的光線，保證成像的清晰度和對比度。

- 機械系統：包含工作臺、立柱、滑架等部件。工作臺用于放置被測工件，能夠在多個方向上移動和調整；立柱和滑架等結構為光學系統的移動和定位提供支撐，確保測量操作的靈活性和準確性。

- 電氣系統：現代工具顯微鏡常配備電氣系統，用于控制照明亮度、驅動工作臺移動、數據采集與處理等功能，提高測量的自動化程度和效率。

測量功能

- 尺寸測量：可測量長度、寬度、高度、孔徑、槽寬等線性尺寸。通過精確移動工作臺并讀取相應的坐標值，結合光學放大成像，能夠實現高精度的尺寸測量。

- 形狀測量：對工件的直線度、平面度、圓度、圓柱度等形狀誤差進行檢測。比如通過對圓形工件邊緣輪廓的測量和分析，判斷其圓度是否符合標準。

- 位置測量：確定工件上各要素之間的相對位置關系，如孔與孔之間的距離、鍵槽與軸線的對稱度等 。

分類

- 小型工具顯微鏡：結構相對簡單，測量范圍較小，適用于小型精密零件的測量，價格相對較低，適合一些對測量范圍要求不高的企業和實驗室。

- 大型工具顯微鏡：測量范圍較大，具備更高的精度和更完善的功能，可滿足大型精密零部件以及復雜形狀工件的測量需求，常用于大型機械制造、航空航天等領域。

- 萬能工具顯微鏡：功能最為全面，除了基本的測量功能外，還可通過配備多種附件和軟件，實現對多種特殊工件和復雜參數的測量，具有很強的通用性和靈活性。

特點

- 高精度：測量精度可達微米級，能夠滿足精密制造和質量控制的嚴格要求。

- 非接觸測量：通過光學成像進行測量，不會對被測工件表面造成損傷，適用于對表面質量要求高的工件測量 。

- 多功能性：可完成多種類型的測量任務，一臺儀器可替代多種單一功能的測量設備，提高測量效率和經濟性。